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不一樣的排污場合和不一樣的廢氣，有不一樣的生產流程。但不論采取哪種工藝流程，都由如下工藝單元組成。
廢氣預處理?
以便防止金屬催化劑床層的阻塞和催化劑中毒，廢氣在進到床層以前務必開展預備處理，以去除廢氣中的煙塵、液體及金屬催化劑的有害物質。在開展催化燃燒的工藝技術時，應依據詳細情況，針對解決氣量很大的場合，設計方案成份建式步驟，即暖風器、管式反應器單獨安置，期間用管路聯接。針對解決氣量小的場合，可選用催化反應垃圾焚燒爐把加熱與反映組成在一起，但要留意加熱段與反映段間的間距。
在有機物廢氣的催化燃燒中，所要解決的有機物廢氣在高溫下與氣體混和易造成發生爆炸，安全隱患十分重要。因此，一方面務必操縱有機物與氣體的混和比，使之在爆炸下限；另一方面，催化燃燒系統應設監測報警裝置和有防爆措施。
